交付信息

交付日期：2023年10月20日
客戶單位：南京工業大學
交付產品：TLRH系列精密型基礎測試探針臺

現場實拍

核心指標

• • 真空卡盤直徑：4英寸

• • 樣品臺位移精度：<3μm

• • 探針座位移精度：<3μm

• • 漏電流精度：<100fA

• • 兼容多種光學顯微鏡

該探針臺系統可外引光路實現光電Mapping測試，是半導體材料或器件電學測試的理想選擇。

產品介紹

譜量光電：TLRH系列 精密型組合式探針臺

產品樣圖

產品特點

• • 模塊化設計，可以搭配不同構件完成不同測試；

• • 最大可用于12寸以內樣品測試；

• • 探針臺整體位移精度高達3μm，樣品臺精密四維調節；

• • 兼容多種光學顯微鏡，可外引光路實現光電Mapping測試；

• • 滿足1µm以上電極/PAD使用;

• • 漏電精度可達10pA/100fA（屏蔽箱內）;

• • 探針座采用進口交叉滾珠導軌，線性移動，無回程差設計;

• • 加寬探針放置架，可放置6個DC探針座/4個RF探針座；

• • 配顯微鏡二維精密調節功能，且可選配多種行程及驅動方式。

應用領域

多被用于科研院校搭建測試系統，例如：材料電學測試系統、光電探測器光電響應系統、光電Mapping測試系統、憶阻器與神經元系統等等。

公司可根據客戶實際需求定制配套的探針臺，以達到更好的測試效果和性價比，具體可各平臺咨詢客服。