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譜量光電研發(fā)生產(chǎn)的三線擺式高性能氣浮隔振光學(xué)平臺(tái),是我司結(jié)合多年在隔振領(lǐng)域的研發(fā)及應(yīng)用經(jīng)驗(yàn),為超高精密實(shí)驗(yàn)需求開發(fā)的一款高性能氣浮隔振平臺(tái),對(duì)標(biāo)業(yè)內(nèi)頂級(jí)品牌,支腿為獨(dú)立式圓腿支撐,無整體共振,內(nèi)部三線擺設(shè)計(jì)可將振動(dòng)隔離到更低的水平,并在受到干擾后實(shí)現(xiàn)高精度工作臺(tái)重新定位,層流阻尼技術(shù)大大提高阻尼效率,混合腔設(shè)計(jì)極大增加給定尺寸下的柔性體積,同時(shí)有效降低了固有頻率。